Amiruddin, S., Usman, L., Mursal, M., Winata, T. and Sukirno, S. 2013. Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD. Journal of Mathematical and Fundamental Sciences. 37, 1 (Dec. 2013), 13-22. DOI:https://doi.org/10.5614/itbj.sci.2005.37.1.2.