Amiruddin, S., Usman, L., Mursal, M., Winata, T., & Sukirno, S. (2013). Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD. Journal of Mathematical and Fundamental Sciences, 37(1), 13-22. https://doi.org/10.5614/itbj.sci.2005.37.1.2