AMIRUDDIN, S.; USMAN, L.; MURSAL, M.; WINATA, T.; SUKIRNO, S. Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD. Journal of Mathematical and Fundamental Sciences, v. 37, n. 1, p. 13-22, 31 Dec. 2013.