Amiruddin, S., Usman, L., Mursal, M., Winata, T. and Sukirno, S. (2013) “Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD”, Journal of Mathematical and Fundamental Sciences, 37(1), pp. 13-22. doi: 10.5614/itbj.sci.2005.37.1.2.