S. Amiruddin, L. Usman, M. Mursal, T. Winata, and S. Sukirno, “Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD”, J. Math. Fund. Sci., vol. 37, no. 1, pp. 13-22, Dec. 2013.