Amiruddin, S., L. Usman, M. Mursal, T. Winata, and S. Sukirno. “Studi Optimasi Parameter Daya RF Untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon Dengan Metode Hot Wire Cell PECVD”. Journal of Mathematical and Fundamental Sciences, vol. 37, no. 1, Dec. 2013, pp. 13-22, doi:10.5614/itbj.sci.2005.37.1.2.