Amiruddin, S., L. Usman, Mursal Mursal, T. Winata, and Sukirno Sukirno. “Studi Optimasi Parameter Daya RF Untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon Dengan Metode Hot Wire Cell PECVD”. Journal of Mathematical and Fundamental Sciences 37, no. 1 (December 31, 2013): 13-22. Accessed October 31, 2025. https://journals.itb.ac.id/index.php/jmfs/article/view/282.