Amiruddin S, Usman L, Mursal M, Winata T, Sukirno S. Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD. J. Math. Fund. Sci. [Internet]. 2013Dec.31 [cited 2025Oct.31];37(1):13-22. Available from: https://journals.itb.ac.id/index.php/jmfs/article/view/282